Siamo tutti consapevoli della stretta relazione tra il trend di sviluppo tecnologico dei materiali target e il trend di sviluppo della preparazione del target. La tecnologia target dovrebbe adattarsi in linea con il modo in cui l'industria applicativa fa avanzare la tecnologia dei prodotti o dei componenti a film sottile. Seguiamo l'editore per scoprire come è stato preparato il target.
1. Per creare una polvere composita meccanica, miscelare la polvere monomerica di ossido di indio con polvere di ossido di stagno monomero con un rapporto di massa di 9:1, oppure creare prima la polvere composita chimica di ossido di indio e stagno utilizzando procedure chimiche. La polvere è pura al 99%, sferica o quasi -sferico, con una dimensione media delle particelle di 30-200 nm e nessuna evidenza di agglomerazione dura.
2. Disossidare la polvere composita a 350 gradi in un ambiente di ossigeno.
3. Riempire la busta con la polvere composita per la pressatura isostatica a freddo. Come mezzo di pressatura isostatica a freddo viene utilizzato l'olio e viene utilizzato un intervallo di pressione compreso tra 200 e 280 MPa. La densità approssimativa ottenuta varia dal 45% al 55% di la densità teorica.
4. Posizionare la billetta grezza all'interno di un contenitore di dimensioni adeguate. Per impedire loro di reagire a temperature e pressioni elevate, una pellicola di tantalio metallico, una pellicola di nichel, una pellicola di niobio o una pellicola di platino viene posizionata tra il contenitore e il corpo grezzo.
5. Aspirare il contenitore e avvolgerlo con grezzi grezzi.
6. Inserire il suddetto contenitore in un forno di pressatura isostatica a caldo. Con un periodo di permanenza di 0,5–6 ore e una pressione atmosferica di argon di 100–120 MPa, la pressatura isostatica a caldo avviene a temperature comprese tra 100 e 300 grado .
7. Rimuovere il contenitore in acciaio al carbonio dopo la pressatura isostatica a caldo mediante decapaggio in acido nitrico diluito, staccare la barriera di lamina metallica e raccogliere il materiale desiderato.
8. Per tagliare il materiale target alla dimensione desiderata, utilizzare il metodo del taglio a filo.
