Oggi parleremo delle condizioni della camera, il fattore finale che influenza la creazione di rivestimenti di grandi dimensioni. Il materiale target stesso presenta problemi di qualità, forma, orientamento dei cristalli e altri fattori. La distinzione principale tra i fattori attuali e quelli indicati in precedenza è che i fattori attuali riguardano esclusivamente una condizione esterna piuttosto che il materiale target stesso.
Successivamente l'editor ti consentirà di comprendere appieno l'impatto delle condizioni della camera sulla formazione della pellicola del bersaglio.
Sia che la cavità sia pulita o sporca, o che il processo di produzione richieda troppo tempo, sulla superficie della cavità verranno assorbiti più contaminanti. Questi contaminanti si manifesteranno durante il processo di produzione e aderiranno alla superficie del bersaglio. È probabile che si accumulino cariche nell'area convessa durante il processo di sputtering, il che aumenterà la dimensione dei noduli e si tradurrà in una scarica significativa che avrà anche un impatto sulla qualità del film.
Inoltre, lo sputtering non conduttivo generato dalla reazione potrebbe attaccarsi alla superficie del materiale target e formare noduli se c'è una leggera perdita d'aria nella camera, il che ridurrà l'efficienza e l'uniformità della creazione della pellicola. Di conseguenza, l'uso di l'obiettivo è fortemente influenzato dalle condizioni della camera.
All'inizio, l'accumulo è semplice da rimuovere bruciando il bersaglio con argon puro, ma se non viene risolto il problema, l'accumulo col tempo aumenterà e causerà un arco significativo, che ha un impatto sulla produzione. Il bersaglio deve essere bruciato con una forte corrente prima di ogni produzione per rimuovere eventuali contaminanti dalla sua superficie. Per mantenere un ambiente pulito per il rivestimento, la camera a vuoto viene regolarmente lucidata, aspirata e pulita. La rete del sacchetto viene inoltre sabbiata per rimuovere eventuali reagenti metallici aderiti ad essa.
L'utilizzo del materiale target sarà influenzato dall'ambiente della camera di rivestimento, che avrà anche un impatto sulla qualità della pellicola. La maggior parte delle persone durante il processo di rivestimento si concentrerà sul target stesso, ignorando le condizioni della camera, quindi occasionalmente una parte significativa del questo è causato da un rivestimento insoddisfacente. Spero che gli amici dovrebbero essere consapevoli delle condizioni della camera dopo aver letto questo saggio!
