Ta bersaglio sputter

Processo di produzione target dello sputtering al tantalio metallico Yusheng
I prodotti target dello sputtering al tantalio di Yusheng Metal vengono lavorati da lingotti di tantalio utilizzando processi di bombardamento elettronico, laminazione e ricottura. Gli obiettivi realizzati con questo processo hanno struttura cristallina, consistenza e distribuzione dell'energia uniformi e una buona struttura interna.

Negli ultimi anni, la portata del settore dei circuiti integrati (circuiti integrati) ha continuato ad espandersi e anche la tecnologia di processo dei chip si è sviluppata nella direzione dell'alta densità. Il tantalio viene spesso utilizzato come materiale di rivestimento per lo sputtering dello strato barriera alla diffusione nel processo di connessione in rame a causa della sua forte stabilità chimica. La microstruttura uniforme dei target dello sputtering al tantalio ha un impatto diretto sulle prestazioni dello sputtering.

Tantalum targets require fine and uniform grains, randomly dispersed grain orientation, and excellent film manufacturing performance. However, due to the properties of tantalum, a microstructure can easily form during cold working with a core orientation of 111 (111>/ND) and a surface orientation of 100 (100>/ND). Quando si producono film sottili, la velocità di sputtering cambia a seconda dello spessore del target, il che influisce sulla stabilità del processo di sputtering.

Principio del bersaglio sputtering Ta

Il tantalio viene spesso utilizzato nella produzione di condensatori elettrolitici grazie alla sua capacità di formare ossidi sottili e alla natura protettiva dello strato di ossido. L'evaporazione è stata utilizzata nelle prime fasi della deposizione di tantalio, ma quando alla fine degli anni '60 sono emerse tecniche di deposizione fisica da vapore come il rivestimento sputtering come metodi superiori per la deposizione di film sottile, hanno sostituito l'evaporazione.

Nel processo di deposizione fisica del vapore, gli atomi di argon ionizzato utilizzano la meccanica elettromagnetica per colpire il bersaglio, abbattendo gli atomi metallici del bersaglio e gli atomi metallici del bersaglio vengono depositati sul substrato per formare una pellicola sottile.

bersaglio di sputtering di tantalio

bersaglio di tantalio

Attrezzature per la produzione di metalli Yusheng

Yusheng Metal dispone di una serie completa di sistemi di ricerca scientifica, produzione, test, vendita e assistenza dalla fusione, forgiatura, laminazione a caldo, laminazione a freddo, finitura fino ai materiali finiti. Dispone di un forno elettronico a bombardamento est da 350 kW, una pressa idraulica da 2000 T, un forno di ricottura sotto vuoto da 1700 mm e una forgiatrice di precisione da 42 kW e due da 15 kW, 14 laminatoi per nastri di finitura, LDD120, LDD-40, LDD{{8} }, LDD-8 laminatoio per tubi a doppia linea, 2-laminatoio per tranciatura roll 500T, 4 laminatoi a freddo, 6 laminatoi a freddo, macchina per trafilatura a doppia faccia da 15KW, smerigliatrice cilindrica, pelatrice, smerigliatrice di superficie e una serie di attrezzature.

Applicazione del target di sputtering al tantalio

Il materiale target dello sputtering di tantalio è costituito da fogli di tantalio lavorati a pressione e presenta le caratteristiche di elevata purezza, grana fine, buona struttura di ricristallizzazione e buona consistenza a tre assi.
Gli obiettivi di sputtering al tantalio sono ampiamente utilizzati nell'industria optoelettronica e dei semiconduttori. Sono utilizzati principalmente per la deposizione sputtering di rivestimenti catodici, materiali attivi di aspirazione ad alto vuoto, fibre ottiche, wafer semiconduttori, circuiti integrati, ecc. Sono una parte importante della tecnologia a film sottile.

 

Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd.è un fornitore globale di rari componenti per la lavorazione di oro tantalio, niobio, vanadio, zirconio e afnio. Produce principalmente fili, barre, piastre, tubi, anelli, crogioli, ecc. e altre parti di lavorazione speciale non standard. Pubblicheremo regolarmente informazioni relative ai prodotti e alle discipline dei materiali della nostra azienda, coprendo l'intera catena di ricerca e sviluppo della tecnologia dei materiali, industrializzazione dei risultati materiali, applicazione e promozione di prodotti materiali, agglomerazione dell'industria dei materiali ed ecologia dell'industria dei materiali. Siete invitati a contattarci in qualsiasi momento.

 

 

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