Bersaglio planare al niobio

I bersagli di sputtering richiedono una composizione omogenea, un'adeguata dimensione delle particelle e un orientamento cristallografico specifico, e gli elevati requisiti di questi bersagli di sputtering sono tutti volti a ottenere una velocità di deposizione del film uniforme sull'intero substrato. I bersagli al niobio sono utilizzati principalmente nei materiali per l'ingegneria delle superfici, come i display marini, chimici e a cristalli liquidi, e nelle industrie di rivestimento come resistenza al calore, resistenza alla corrosione e alta conduttività. Un bersaglio piatto al niobio è un bersaglio al niobio con un diametro maggiore o uguale a 150 mm, che di solito è chiamato bersaglio nudo, e l'utente lo salda prima con un bersaglio posteriore in rame o alluminio quando lo utilizza, quindi spruzza per depositare atomi di niobio sul materiale del substrato per ottenere un rivestimento sputtering. Per ottenere l'uniformità del rivestimento, il target planare di niobio deve frantumare i cristalli di colata del lingotto di niobio per garantire che la struttura interna del target di niobio sia completamente ricristallizzata, la dimensione del grano sia inferiore a 100 μπι ed è uniforme.

La nostra azienda fornisce un nuovo metodo di preparazione, che comprende le seguenti fasi: i lingotti di niobio sono forgiati radialmente e perpendicolarmente allungati, i lingotti di niobio forgiati sono decapati e i lingotti di niobio decapati sono trattati termicamente; Quindi i lingotti di niobio vengono appiattiti e forgiati, i lingotti di niobio forgiati vengono messi in salamoia e i lingotti di niobio in salamoia vengono trattati termicamente; Infine, i lingotti di niobio vengono laminati per ottenere un bersaglio planare di niobio.

Nel processo di preparazione di un bersaglio di niobio, il processo di forgiatura è una combinazione di squadratura radiale, allungamento assiale e forgiatura appiattita, in modo che la regione del cristallo colonnare nel lingotto di niobio, la regione del cristallo equiassiale centrale e la vicinanza del bordo di il lingotto di niobio, il flusso di metallo della parte centrale del grezzo aumenta, l'irregolarità della struttura centrale è notevolmente migliorata e la struttura cristallina grezza fusa originale è completamente rotta in più direzioni sotto la forza multidirezionale, promuovendo così il lingotto di niobio per ottenere una struttura del grano relativamente uniforme. Evita la presenza di tessuti nocivi come il tessuto "a fascia cristallina" e il tessuto cristallino grossolano lasciato dalla parte centrale senza un'efficace frammentazione; Nella fase di laminazione, la deformazione dei lingotti di niobio è più uniforme, e dopo la lavorazione, con il processo di trattamento termico intermedio, la struttura del materiale bersaglio di niobio è sempre più omogenea e raffinata e, infine, una struttura cristallina equiassiale bersaglio di niobio planare con una struttura uniforme e una granulometria inferiore a 100 μ m si ottiene. Pertanto, con questo metodo di preparazione è stata ottenuta una struttura cristallina equiassiale con tessuto uniforme e granulometria inferiore a 100 μπι.

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