Assicurarsi che venga stabilita una forte connessione termica tra il bersaglio e la parete di raffreddamento della pistola a spruzzo è la misura di sicurezza più importante da adottare durante l'installazione del bersaglio a spruzzo. Il bersaglio potrebbe rompersi o piegarsi durante l'installazione se la doga di raffreddamento o il backplane sono gravemente deformati. Ciò avrà anche un impatto significativo sulla conduttività termica dal bersaglio posteriore al bersaglio, che potrebbe indurre un cedimento del calore durante il processo di sputtering. Il bersaglio prima o poi si romperà o mancherà a causa delle emissioni.
È possibile inserire uno strato di carta di grafite tra la parete di raffreddamento del catodo e il bersaglio per garantire un'adeguata conduttività termica. Tenere presente che è necessario esaminare e confermare attentamente la planarità della parete di raffreddamento per la pistola a spruzzo e assicurarsi che l'O- l'anello è sempre a posto.
Quando si installa il materiale target, è importante controllare e pulire il serbatoio dell'acqua di raffreddamento del catodo per garantire la pulizia dell'acqua di raffreddamento utilizzata e la pulizia dello sporco che potrebbe essere generato durante il funzionamento dell'apparecchiatura che si depositerà nel catodo serbatoio dell'acqua di raffreddamento. Ciò contribuirà a garantire una circolazione regolare dell'acqua di raffreddamento e dell'ingresso e uscita dell'acqua. non essere ostacolato.
Quando si installa il materiale target, è importante assicurarsi che non vi sia contatto tra il catodo e l'anodo e che non vi siano conduttori poiché alcuni catodi sono costruiti con un piccolo spazio rispetto all'anodo; altrimenti si verificherà un cortocircuito.
Per le istruzioni necessarie su come installare correttamente il bersaglio, consultare il manuale operativo fornito dal produttore dell'attrezzatura. Stringere manualmente un bullone, quindi il secondo bullone sulla linea diagonale a mano, ripetendo questo metodo finché tutti i bulloni non vengono inseriti. quindi serrare con gli strumenti per fissare il dispositivo di destinazione.
