L'impatto del legame del target e della qualità del liner sul rivestimento di grandi aree verrà discusso in questo documento. Alcuni materiali con bassa tenacità, come metalli, leghe e ossidi soggetti a fessurazioni, verranno danneggiati durante il processo di rivestimento. Il bersaglio rotante è spesso legato al rivestimento in acciaio inossidabile durante la preparazione e il bersaglio è tipicamente legato alla piastra di supporto in rame quando si verifica la rottura. L'indio metallico o altri composti metallici sono l'ingrediente legante più spesso utilizzato.
Può aiutare con alcuni problemi legati alla mancanza di resistenza meccanica del materiale target oltre a prevenire la rottura involontaria del materiale target durante il trasporto. Per risolvere il problema dell'utilizzo limitato di target di grandi dimensioni, queste tecniche prevedono la giunzione dei target sulla piastra posteriore. Può garantire un contatto elettrico e un raffreddamento adeguati del materiale del target, oltre a proteggere il target da rotture e sputtering irregolari.
Una conduttività termica irregolare comporterà uno sputtering irregolare del materiale target (formazione di una pellicola irregolare), così come i noduli superficiali e i fenomeni di scarica. Inoltre, la formazione di una pellicola non uniforme comporterà un colore dello strato di pellicola non uniforme, che influenzerà il modo in cui lo strato dielettrico cambia a seconda del prodotto finale. Aumentare ovviamente il numero di scarti di rivestimento. Di conseguenza, le proprietà leganti del materiale target influiscono notevolmente sul modo in cui viene utilizzato. A causa dell'interazione tra l'espansione e la contrazione termica del materiale target e il coefficiente di dilatazione termica del tubo in acciaio inossidabile, la geometria La dimensione di alcuni target rotanti in metallo o lega che hanno una buona conduttività termica ma che non richiedono legame, come i target ZnAl, ZnSn e SiAl, aumenta con la temperatura.
Il coefficiente di regolarità della variazione e la variazione differiscono l'uno dall'altro, pertanto per l'incollaggio devono essere utilizzati determinati materiali di collegamento. Se la miscela è scarsa, il materiale target si riscalderà in modo non uniforme, la conduzione del calore sarà impedita e si verificheranno fessurazioni e cadute. verificarsi. Questi problemi avranno un impatto sulla qualità del rivestimento e sulla capacità di produrre beni.
In generale, il materiale target ceramico ha una scarsa dissipazione del calore a causa dell'elevata generazione di calore del materiale target durante il processo di sputtering. È semplice generare calore locale durante il processo di sputtering se l'incollaggio ha un'area ampia ed è scadente. L'indio, un materiale legante a basso punto di fusione, si accumula e si scioglie, causando la rottura o addirittura il distacco del materiale target.
Il rivestimento del target dipende in gran parte dal legame del materiale target e dal calibro del tubo di rivestimento. Ciò richiede la professionalità del team oltre alla prontezza, per consentire il deposito di un film efficace.
