La pulizia della superficie di un bersaglio viene eseguita per eliminare la polvere o lo sporco eventualmente presenti. Per pulire i bersagli metallici è possibile utilizzare quattro passaggi:
La pulizia viene effettuata inizialmente utilizzando un panno morbido e privo di pelucchi imbevuto di acetone;
Per pulire con alcool, il secondo procedimento è simile al primo;
La pulizia con acqua deionizzata è il terzo passaggio. Il target deve essere asciugato in forno per 30 minuti a 100 gradi Celsius dopo essere stato pulito con acqua deionizzata. Per pulire l'ossido e i target in ceramica, si consiglia un "panno privo di lanugine".
Nella quarta fase il bersaglio viene lavato con argon ad alta pressione e a bassa umidità per eliminare eventuali impurità che potrebbero causare archi nel sistema di sputtering.
Assicurati che le tue mani siano pulite e prive di pelucchi prima di utilizzare il materiale target. Non mettere mai le mani direttamente sulla sostanza bersaglio.
Gli schizzi accumulati al centro e su entrambi i lati della pista di sputtering devono essere rimossi gradualmente per evitare cortocircuiti e archi causati dalla cavità sporca durante il processo di sputtering. Ciò consente inoltre all'utente di funzionare continuamente alla massima densità di potenza. Sputacchiamento.
